東京精密圓度測(cè)量?jī)x傳感器回轉(zhuǎn)式長(zhǎng)度傳感器把位移量轉(zhuǎn)換為電量，經(jīng)過放大、濾波、運(yùn)算等程序處理后即由顯示儀表指示出圓度誤差，也常用圓記錄器記錄出或用陰極射線管(CRT)顯示出被測(cè)圓輪廓放大圖。傳感器回轉(zhuǎn)式圓度儀結(jié)構(gòu)復(fù)雜，但精密軸系不受被測(cè)件重量影響，測(cè)量精確度較高，適宜于測(cè)量較重工件。工作臺(tái)回轉(zhuǎn)式工作臺(tái)回轉(zhuǎn)式圓度儀結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，但精密軸系受被測(cè)件重量載荷后會(huì)影響回轉(zhuǎn)精度,故適用于測(cè)量較輕工件(如軸承滾道)。圓度儀精密軸系的回轉(zhuǎn)精度可達(dá)0.025微米，采用誤差分離法，利用電子計(jì)算機(jī)自動(dòng)補(bǔ)償精密軸系的系統(tǒng)誤差，并采用多次測(cè)量方法減小偶然誤差，可將測(cè)量精確度提高到0.005微米。圓度儀和三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的原理是一樣的，其實(shí)它的工作原理很簡(jiǎn)單，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)就是一個(gè)采點(diǎn)工具，其原理就是先采點(diǎn)，然后由點(diǎn)構(gòu)成線，再由線構(gòu)成立體的三維模型。 三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)就是在三個(gè)相互垂直的方向上有導(dǎo)向機(jī)構(gòu)、測(cè)長(zhǎng)元件、數(shù)顯裝置，有一個(gè)能夠放置工件的工作臺(tái)(大型和巨型不一定有)，測(cè)頭可以以手動(dòng)或機(jī)動(dòng)方式輕快地移動(dòng)到被測(cè)點(diǎn)上，由讀數(shù)設(shè)備和數(shù)顯裝置把被測(cè)點(diǎn)的坐標(biāo)值顯示出來的一種測(cè)量設(shè)備。顯然這是最簡(jiǎn)單、最原始的測(cè)量機(jī)。有了這種測(cè)量機(jī)后，在測(cè)量容積里任意一點(diǎn)的坐標(biāo)值都可通過讀數(shù)裝置和數(shù)顯裝置顯示出來。利用精密軸系中的軸回轉(zhuǎn)一周所形成的圓軌跡(理想圓)與被測(cè)圓比較，兩圓半徑上的差值由電學(xué)式長(zhǎng)度傳感器轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，經(jīng)電路處理和電子計(jì)算機(jī)計(jì)算后由顯示儀表指示出圓度誤差，或由記錄器記錄出被測(cè)圓輪廓圖形。回轉(zhuǎn)軸法有傳感器回轉(zhuǎn)和工作臺(tái)回轉(zhuǎn)兩種形式。前者適用于高精度圓度測(cè)量，后者常用于測(cè)量小型工件。按回轉(zhuǎn)軸法設(shè)計(jì)的圓度測(cè)量工具稱為圓度儀。